RTP快速退火炉，快速热处理设备（RTP）

更新：2026/9/5 9:14:13 浏览：7281次

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上海隽思实验仪器有限公司商铺

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中国大陆

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RTP快速退火炉快速热处理设备（RTP）快速热处理炉

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RTP快速退火炉，快速热处理设备（RTP）简介
快速热处理设备（RTP）可用于砷化镓、硅以及其他半导体材料，离子注入后的退火、硅化物的形成、欧姆接触制备以及快速氧化、快速氮化等方面。RTP快速退火炉，快速热处理设备（RTP）具有快速升降温、慢速升降温、和长工作时间稳定等特点。也可用于各种半导体材料的CVD工艺的热处理。
RTP快速退火炉，快速热处理设备（RTP）主要技术指标
　　l、外形尺寸：550×650×650mm（长×宽×高）
　　2、炉内体尺寸：327×249×123mm（长×宽×高）
3、工作室采用进口GE石英，外径尺寸：290×230×24mm（长×宽×高）；表面进行磨砂处理
　　4、不锈钢反应室上下反射面聚焦设计，内表面采用镀金处理，减小热损失，极大提高了反射效率
　　5、水冷却，确保灯箱散热与快速降温
　　6、风扇冷却保证加热灯的冷却
　　7、最大温度范围150℃—1000℃，K型热电偶
　　8、升温速率：0.01—100℃/s可预设定
　　9、气体：两路美国进口浮子流量计控制，流量：0—5L/min
　　10、采用欧陆2604高精度温控仪控制温度
　　11、可编程多条温度曲线
　　l2、双闭环控制温度，稳态温度稳定性±1℃
　　l3、光源：1200W×21只卤钨灯
　　l4、电源：AC380V；63A三相
　　l5、有效加热区：180×180mm
　　l6、石英承片架Ф160mm；配6英寸硅片承片板

上海隽思实验仪器有限公司公司介绍

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主营产品：

HMDS预处理系统，智能HMDS烘箱，无氧化烘箱，真空无氧烤箱，氮气烘箱，洁净烤箱，无氧烤箱，无尘无氧固化烤箱，高精度加热台，精密恒温热板，烤胶台，LED烤箱，PI/CPI/BCB/PBO/LCP固化烤箱，氮气柜，半导体工艺设备。黑蒜加工设备，黑蒜发酵设备，超低温试验箱，超低温冲击试验箱，-150度高低温试验箱，恒温恒湿试验箱，真空烘箱，热风真空烤箱，环境检测仪器，实验室研究仪器，橡塑检测仪器，电缆检测仪器设备等。

经营范围：

上海隽思实验仪器有限公司主营：HMDS真空烘箱，无尘烤箱，无氧烤箱，洁净烘箱，充氮烤箱，隧道烘箱欢迎新老客户来电垂询！

公司简介：

上海隽思实验仪器有限公司主要生产HMDS预处理系统，HMDS烤箱，洁净烤箱，无氧烤箱，无尘无氧固化烤箱，LED烤箱，UV固化烤箱，隧道烘箱，黑蒜发酵设备、橡塑检测设备、电线电缆检测设备、半导体设备及实验室仪器的高新技术型企业，具有很强的自主开发、设计能力,服务于电子、电力、通讯、环保、农业，建筑，节能、航空航天等行业；多年来，公司以“真挚的服务、的品质”为宗旨，为国内外广大用户提供了周到的售、售中、售后服务。赢得了国内外客户的一致好评，更为我们业务的快速发展奠定了一定的基础。我们的服务也更精益求精，更完善！能够完成仪器仪表工程产品配套和维修服务！
主要业务项目有HMDS预处理系统，HMDS烘箱，无氧化烘箱，真空无氧烤箱，氮气烘箱，洁净烤箱，无氧烤箱，无尘无氧固化烤箱，高精度加热台，精密恒温热板，LED烤箱，PI/CPI/BCB/PBO/LCP固化烤箱，半导体工艺设备。黑蒜加工设备，黑蒜发酵设备，超低温试验箱，超低温冲击试验箱，-150度高低温试验箱，恒温恒湿试验箱，真空烘箱，热风真空烤箱，环境检测仪器，实验室研究仪器，橡塑检测仪器，电缆检测仪器设备等。